The characteristic of abrasive particle in chemical-mechanical polishing

Journal
Progress on Advanced Manufacture for Micro/Nano Technology 2005
Pages
805-810
ISBN
978-0-87849-990-8
Date Issued
2006
Author(s)
Tsai, H. J.
Chang, C. C.
Jeng, Y. R.
Chen, S. L.
URI
Type
book part

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