https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/448399
標題: | The characteristic of abrasive particle in chemical-mechanical polishing | 作者: | Tsai, H. J. Chang, C. C. Jeng, Y. R. Chen, S. L. SIH-LI CHEN |
公開日期: | 2006 | 起(迄)頁: | 805-810 | 來源出版物: | Progress on Advanced Manufacture for Micro/Nano Technology 2005 | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/448399 | ISBN: | 978-0-87849-990-8 |
顯示於: | 機械工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。