https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/448467
標題: | Low-actuation voltage MEMS digital-to-analog converter with parylene spring structures | 作者: | Ma, C.-W. Lee, F.-W. Liao, H.-H. Kuo, W.-C. Yang, Y.-J. YAO-JOE YANG |
公開日期: | 2015 | 卷: | 15 | 期: | 9 | 起(迄)頁: | 21567-21580 | 來源出版物: | Sensors (Switzerland) | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/448467 | DOI: | 10.3390/s150921567 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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