https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/448557
標題: | Macromodels of 3D lateral viscous damping effects for MEMS devices | 作者: | Yen, P.-C. Yang, Y.-J. YAO-JOE YANG |
公開日期: | 2003 | 卷: | 2 | 起(迄)頁: | 1848-1851 | 來源出版物: | 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/448557 | DOI: | 10.1109/SENSOR.2003.1217148 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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