https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/451093
標題: | Structure and tribological behavior of (AlCrNbSiTiV)N film deposited using direct current magnetron sputtering and high power impulse magnetron sputtering | 作者: | Chang, C.-H. Yang, C.-B. Sung, C.-C. Hsu, C.-Y. CHIA-CHI SUNG |
公開日期: | 2018 | 卷: | 668 | 起(迄)頁: | 63-68 | 來源出版物: | Thin Solid Films | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/451093 | DOI: | 10.1016/j.tsf.2018.10.023 |
顯示於: | 工程科學及海洋工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。