https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/451478
標題: | Efficient scattering simulations for equivalent extreme ultraviolet mask multilayer structures by modified transmission line theory and finite-difference time-domain method | 作者: | Lee, Y.-M. Li, J.-H. Ng, P.C.W. Pei, T.-H. Wang, F.-M. Tsai, K.-Y. KUEN-YU TSAI JIA-HAN LI |
公開日期: | 2010 | 卷: | 9 | 期: | 4 | 來源出版物: | Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/451478 | DOI: | 10.1117/1.3503532 |
顯示於: | 工程科學及海洋工程學系 |
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