https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/451950
標題: | A high sensitivity piezoelectric MEMS accelerometer based on aerosol deposition method | 作者: | Gong, X. Chen, C.-T. Wu, W.-J. Liao, W.-H. WEN-JONG WU |
公開日期: | 2019 | 卷: | 10970 | 來源出版物: | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/451950 | DOI: | 10.1117/12.2514224 |
顯示於: | 工程科學及海洋工程學系 |
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