https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/467245
標題: | Optimum sampling for track PEB CD integrated metrology | 作者: | Chen, A. Hsueh, S. ARGON CHEN JAKEY BLUE |
公開日期: | 2009 | 起(迄)頁: | 439-442 | 來源出版物: | 2009 IEEE International Conference on Automation Science and Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/467245 | DOI: | 10.1109/COASE.2009.5234083 |
顯示於: | 工業工程學研究所 |
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