https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/467255
標題: | Data mining and fault diagnosis based on wafer acceptance test data and in-line manufacturing data | 作者: | Fan, C.-M. Guo, R.-S. Chen, A. Hsu, K.-C. ARGON CHEN RUEY-SHAN GUO |
公開日期: | 2001 | 起(迄)頁: | 171-174 | 來源出版物: | IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing Conference, Proceedings | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/467255 | DOI: | 10.1109/ISSM.2001.962941 |
顯示於: | 工業工程學研究所 |
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