https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/467335
標題: | Economic analysis and optimization of tool portfolio in semiconductor manufacturing | 作者: | Chou, Y.-C. Wu, C.-S. YON-CHUN CHOU |
公開日期: | 2002 | 卷: | 15 | 期: | 4 | 起(迄)頁: | 447-453 | 來源出版物: | IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/467335 | DOI: | 10.1109/TSM.2002.804885 |
顯示於: | 工業工程學研究所 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。