https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486395
標題: | A CMOS-MEMS clamped-clamped beam displacement amplifier for resonant switch applications | 作者: | Liu, J.-R. Lu, S.-C. Tsai, C.-P. Li, W.-C. WEI-CHANG LI |
公開日期: | 2018 | 卷: | 28 | 期: | 6 | 來源出版物: | Journal of Micromechanics and Microengineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486395 | DOI: | 10.1088/1361-6439/aab112 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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