https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486845
標題: | Fabrication of micro-optical switch by post-CMOS micromachining process | 作者: | Cheng, Y.-C. Lee, C.-Y. Dai, C.-L. Chen, W.-J. Chang, P.-Z. PING-HEI CHEN PEI-ZEN CHANG |
公開日期: | 2004 | 卷: | 5455 | 起(迄)頁: | 274-283 | 來源出版物: | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486845 | DOI: | 10.1117/12.545307 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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