https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486856
標題: | Fabrication of a micromachined optical modulator using the CMOS process | 作者: | Dai, C.-L. Chen, H.-L. PEI-ZEN CHANG |
公開日期: | 2001 | 卷: | 11 | 期: | 5 | 起(迄)頁: | 612-615 | 來源出版物: | Journal of Micromechanics and Microengineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486856 | DOI: | 10.1088/0960-1317/11/5/326 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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