https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486866
標題: | A method using V-grooves to monitor the thickness of silicon membrane with μm resolution | 作者: | Chang, P.-Z. Yang, L.-J. PEI-ZEN CHANG |
公開日期: | 1998 | 卷: | 8 | 期: | 3 | 起(迄)頁: | 182-187 | 來源出版物: | Journal of Micromechanics and Microengineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486866 | DOI: | 10.1088/0960-1317/8/3/002 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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