https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/487075
標題: | Real time monitoring of thickness of silicon membrane during wet etching using a novel surface acoustic wave sensor | 作者: | Lee, C.-Y. Wu, T.-T. Chen, Y.-Y. Cheng, Y.-C. Chen, W.-J. Pao, S.-Y. Chang, P.-Z. Chen, P.-H. Yen, K.-H. PING-HEI CHEN PEI-ZEN CHANG TSUNG-TSONG WU |
公開日期: | 2004 | 卷: | 5455 | 起(迄)頁: | 319-330 | 來源出版物: | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/487075 | DOI: | 10.1117/12.544959 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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