https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/491381
標題: | Fabry-Perot-type antireflective coating for deep-ultraviolet binary photomask applications | 作者: | Chen, H.-L. Chu, T.-C. Hsu, C.-K. Ko, F.-H. Huang, T.-Y. HSUEN-LI CHEN |
公開日期: | 2002 | 卷: | 41 | 期: | 19 | 起(迄)頁: | 3961-3965 | 來源出版物: | Applied Optics | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/491381 | DOI: | 10.1364/AO.41.003961 |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
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