https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/491389
標題: | Direct impurity analysis of semiconductor photoresist samples with laser ablation ICP-MS | 作者: | Chi, P.-H. Ko, F.-H. Hsu, C.-T. Chen, H.-L. Yang, C.-K. Sun, Y.-C. Yang, M.-H. HSUEN-LI CHEN |
公開日期: | 2002 | 卷: | 17 | 期: | 4 | 起(迄)頁: | 358-365 | 來源出版物: | Journal of Analytical Atomic Spectrometry | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/491389 | DOI: | 10.1039/b110070j |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
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