https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/491400
標題: | Direct patterning on low dielectric constant materials with electron beam lithography | 作者: | Chen, B.-C. Lai, Y.-K. Ko, F.-H. Chou, C.-T. Chen, H.-L. HSUEN-LI CHEN |
公開日期: | 2001 | 起(迄)頁: | 168-169 | 來源出版物: | 2001 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC 2001 | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/491400 | DOI: | 10.1109/IMNC.2001.984143 |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
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