https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/497252
標題: | Efficient and accurate optical scatterometry diagnosis of grating variation based on segmented moment matching and singular value decomposition method | 作者: | Liu, J.-H. Liu, C.-W. Huang, K.-J. Li, T.-Y. Chiu, M.-C. Hong, J.-J. Chen, C.C.-P. Jao, C.-S. LON A. WANG CHUNG-PING CHEN |
公開日期: | 2009 | 卷: | 86 | 期: | 4-6 | 起(迄)頁: | 999-1003 | 來源出版物: | Microelectronic Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/497252 | DOI: | 10.1016/j.mee.2009.01.031 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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