https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/497269
標題: | Ultra-thin Cr <inf>2</inf> O <inf>3</inf> well-crystallized films for high transmittance APSM in ArF line | 作者: | Lai, F.D. Huang, C.Y. Chang, C.M. Wang, L.A. LON A. WANG |
公開日期: | 2003 | 卷: | 67-68 | 起(迄)頁: | 17-23 | 來源出版物: | Microelectronic Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/497269 | DOI: | 10.1016/S0167-9317(03)00179-5 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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