https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/497743
標題: | Field investigations and dynamic measurements of process activity induced VOCs inside a semiconductor cleanroom | 作者: | Jian, R.-S. Wang, T.-Y. Song, L.-Y. Kuo, C.-Y. Tian, W.-C. Lo, E.-W. Lu, C.-J. WEI-CHENG TIAN |
公開日期: | 2015 | 卷: | 94 | 期: | P1 | 起(迄)頁: | 287-295 | 來源出版物: | Building and Environment | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/497743 | DOI: | 10.1016/j.buildenv.2015.08.023 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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