https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/498795
標題: | The structural and optical properties of a-SiN <inf>x</inf> :H prepared by plasma-enhanced chemical-vapor deposition | 作者: | Lin, K.-C. Lee, S.-C. SI-CHEN LEE |
公開日期: | 1992 | 卷: | 72 | 期: | 11 | 起(迄)頁: | 5474-5482 | 來源出版物: | Journal of Applied Physics | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/498795 | DOI: | 10.1063/1.351992 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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