https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/499549
標題: | Deep ultraviolet enhanced wet chemical etching of gallium nitride | 作者: | Peng, L.-H. Chuang, C.-W. Ho, J.-K. Huang, C.-N. Chen, C.-Y. LUNG-HAN PENG |
公開日期: | 1998 | 卷: | 72 | 期: | 8 | 起(迄)頁: | 939-941 | 來源出版物: | Applied Physics Letters | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/499549 | DOI: | 10.1063/1.120879 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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