https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/546680
標題: | Low-temperature crystallization and paraelectric-ferroelectric phase transformation in nanoscale ZrO 2 thin films induced by atomic layer plasma treatment | 作者: | Yi, S.-H. Huang, K.-W. Lin, H.-C. Chen, M.-J. HSIN-CHIH LIN MIIN-JANG CHEN |
公開日期: | 2020 | 卷: | 8 | 期: | 11 | 起(迄)頁: | 3669-3677 | 來源出版物: | Journal of Materials Chemistry C | URI: | https://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85082383145&partnerID=40&md5=f256aea82d853abae92451474cf0b390 https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/546680 |
DOI: | 10.1039/c9tc04801d |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
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