https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/546711
標題: | Co-dosing Ozone and Deionized Water as Oxidant Precursors of ZnO Thin Film Growth by Atomic Layer Deposition | 作者: | Cheng, Y.-C. Wang, H.-C. Feng, S.-W. Li, T.-P. Fung, S.-K. Yuan, K.-Y. Chen, M.-J. MIIN-JANG CHEN |
公開日期: | 2020 | 卷: | 15 | 期: | 1 | 來源出版物: | Nanoscale Research Letters | URI: | https://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85088776922&partnerID=40&md5=3e686b44523b937049264156606172fe https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/546711 |
DOI: | 10.1186/s11671-020-03382-1 |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。