https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/546891
標題: | Temperature-compensated CMOS-MEMS resonators via electrical stiffness frequency pulling | 作者: | Liu, J.-R. Li, W.-C. WEI-CHANG LI |
公開日期: | 2020 | 卷: | 30 | 期: | 1 | 來源出版物: | Journal of Micromechanics and Microengineering | URI: | https://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85081091904&partnerID=40&md5=3f36c826a26368074c866327baa8e1d2 https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/546891 |
DOI: | 10.1088/1361-6439/ab50ef |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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