https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/584175
標題: | The Characteristic of Abrasive Particle in Chemical – Mechanical Polishing | 作者: | H. J. Tsai C. C. Chang Y. R. Jeng S. L. Chen SIH-LI CHEN |
公開日期: | 2006 | 卷: | 505-507 | 起(迄)頁: | pp.805-810 | 來源出版物: | Material Science Forum | URI: | http://www.elsevier.com/locate/issn/13594311 https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/584175 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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