https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/584190
標題: | Numerical Simulation of Air Flow in the Mini-environment and SMIF Enclosure | 作者: | Huan-Ruei Shiu Hsiao-Yi Huang Sih-Li Chen Ming-Tsun Ke SIH-LI CHEN |
公開日期: | 2003 | 卷: | 16 | 期: | 1 | 起(迄)頁: | pp.60-67 | 來源出版物: | IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing | URI: | http://www.jmech.org.tw/ https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/584190 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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