https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/586203
標題: | 具高低研磨面晶圓之化學機械研磨模型的探討 | 作者: | 張美雲 陳柏廷 吳尚真 陳達仁 DAR-ZEN CHEN |
公開日期: | 1999 | 卷: | 77 | 起(迄)頁: | 57-71 | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/586203 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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