https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/587754
標題: | A Novel Fabrication Method for Suspended High-Aspect-Ratio MEMS Structures | 作者: | Y.-J. Yang W.-C. Kuo YAO-JOE YANG |
公開日期: | 2005 | 卷: | 15 | 起(迄)頁: | 2184-2193 | 來源出版物: | Journal of Micromechanics and Microengineering (JMM) | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/587754 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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