https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/587767
標題: | 微機電式數位∕類比轉換機構應用於白光干涉系統之微鏡面驅動 | 作者: | 廖信宏 楊燿州 YAO-JOE YANG |
公開日期: | 2010 | 來源出版物: | 第十四屆奈米工程暨微系統技術研討會 | 描述: | Kaohsiung, Taiwan |
URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/587767 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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