https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/587856
標題: | A Single-run Single-mask ICP-RIE Process for Fabricating Suspended High-Aspect-Ratio MEMS Structures | 作者: | Y.-J. Yang W.-C. Kuo K.-C. Fan YAO-JOE YANG |
公開日期: | 2006 | 卷: | 45 | 期: | 1A | 起(迄)頁: | 305-310 | 來源出版物: | Japanese Journal of Applied Physics | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/587856 |
顯示於: | 機械工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。