https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/603354
標題: | Real-time fab-wise airborne molecular contaminant (AMC) monitoring system using multiple fourier transform infrared (FTIR) spectrometers in a semiconductor plant | 作者: | Tsao Y.-C. Chang P.-E. Chen S.-Y. YAW-HUEI HWANG |
公開日期: | 2015 | 出版社: | AAGR Aerosol and Air Quality Research | 卷: | 15 | 期: | 4 | 起(迄)頁: | 1640-1651 | 來源出版物: | Aerosol and Air Quality Research | URI: | https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-84938338579&doi=10.4209%2faaqr.2014.08.0184&partnerID=40&md5=4f9226c71dd79e0c1ad34c8f46f67977 https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/603354 |
ISSN: | 1680-8584 | DOI: | 10.4209/aaqr.2014.08.0184 |
顯示於: | 環境與職業健康科學研究所 |
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