DC 欄位 | 值 | 語言 |
dc.contributor | 國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 | zh_TW |
dc.contributor.author | 陳炳煇 | zh_TW |
dc.creator | 陳炳煇 | - |
dc.date | 1998 | zh_TW |
dc.date.accessioned | 2006-07-25T11:37:23Z | - |
dc.date.accessioned | 2018-06-28T17:16:34Z | - |
dc.date.available | 2006-07-25T11:37:23Z | - |
dc.date.available | 2018-06-28T17:16:34Z | - |
dc.date.issued | 1998 | - |
dc.identifier | 872212E002059 | zh_TW |
dc.identifier.uri | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15602 | - |
dc.description.abstract | 本計畫目的在研究壓電薄膜的製
作與性質研究,並利用此為基礎設計
壓力感測器、信號產生器及接收器,
在利用這些元件對微流量量測技術作
一初步研究。
隨著高科技產業的進步,利用微
機電技術製作的元件在尺寸上大幅縮
小且因採用IC 批量生產製程,單一元
件成本可有效降低,具有強大的市場
潛力。但因尺寸縮小,故驅動方式也
必須改變,其中壓電材料因具備有機
電能互換的能力,而相當受到重視。
本計畫便希望能提出一較好的壓電薄
膜製作程序,並以此為基礎設計出能
夠實際應用於微流量量測之壓力感測
器。 | zh_TW |
dc.format | application/pdf | zh_TW |
dc.format.extent | 285061 bytes | - |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language | zh-TW | zh_TW |
dc.language.iso | zh_TW | - |
dc.publisher | 臺北市:國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 | zh_TW |
dc.rights | 國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 | zh_TW |
dc.subject | 微機電技術 | zh_TW |
dc.subject | 壓電薄膜 | zh_TW |
dc.subject | 微
流量計 | zh_TW |
dc.title | 微機械在微流量量測的應用 | zh_TW |
dc.type | report | en |
dc.identifier.uri.fulltext | http://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/15602/1/872212E002059.pdf | - |
dc.coverage | 計畫年度:87;起迄日期:1997-08-01/1998-07-31 | zh_TW |
item.languageiso639-1 | zh_TW | - |
item.cerifentitytype | Publications | - |
item.fulltext | with fulltext | - |
item.openairecristype | http://purl.org/coar/resource_type/c_93fc | - |
item.openairetype | report | - |
item.grantfulltext | open | - |
crisitem.author.dept | Mechanical Engineering | - |
crisitem.author.orcid | 0000-0002-8073-9344 | - |
crisitem.author.parentorg | College of Engineering | - |
顯示於: | 機械工程學系
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