https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/63693
Title: | 微機械在微流量量測的應用 | Authors: | 陳炳煇 | Keywords: | 微機電技術;壓電薄膜;微 流量計 | Issue Date: | 1998 | Publisher: | 臺北市:國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 | Abstract: | 本計畫目的在研究壓電薄膜的製 作與性質研究,並利用此為基礎設計 壓力感測器、信號產生器及接收器, 在利用這些元件對微流量量測技術作 一初步研究。 隨著高科技產業的進步,利用微 機電技術製作的元件在尺寸上大幅縮 小且因採用IC 批量生產製程,單一元 件成本可有效降低,具有強大的市場 潛力。但因尺寸縮小,故驅動方式也 必須改變,其中壓電材料因具備有機 電能互換的能力,而相當受到重視。 本計畫便希望能提出一較好的壓電薄 膜製作程序,並以此為基礎設計出能 夠實際應用於微流量量測之壓力感測 器。 |
URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15602 | Other Identifiers: | 872212E002059 | Rights: | 國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 |
Appears in Collections: | 機械工程學系 |
File | Description | Size | Format | |
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