https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/69767
標題: | A Novel Method for In-Situ Monitoring of the Thickness of a Silicon Wafer during Wet Etching | 作者: | Lee, Chi Yuan Chang, Pei Zen Chen, Yung Yu Dai, Ching Liang Wang, Xuan Yu Chen, Ping Hei Lee, Shuo Jen |
公開日期: | 十月-2005 | 卷: | 18 | 期: | 2 | 起(迄)頁: | 71-82 | 來源出版物: | Sensors and Materials | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/200269 |
顯示於: | 機械工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。