https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/82265
標題: | Real-time equipment health evaluation and dynamic preventive maintenance | 作者: | Chen, Argon Guo, R.S. Wu, G.S. |
公開日期: | 九月-2000 | 起(迄)頁: | - | 來源出版物: | The Ninth International Symposium on Semiconductor Manufacturing, 2000 | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/2007041908551533 | 其他識別: | N/A | DOI: | 10.1109/ISSM.2000.993691 |
顯示於: | 工業工程學研究所 |
檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
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