https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/294650
標題: | Sub-micron gate by optical lithography using photoresist re-flow and spin-on-glass | 作者: | W.-S. Lour M.-K. Tsai K.-C. Chen Y.-W. Wu S.-W. Tan Y. J. Yang YING-JAY YANG |
公開日期: | 一月-2001 | 起(迄)頁: | 154-157 | 來源出版物: | ECS, State-of-the-art Program on Compound Semiconductors XXXV | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/294650 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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