https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/299262
標題: | Freestanding Microheaters in Si with High Aspect Ratio Microstructures | 作者: | WEI-CHENG TIAN S. W. Pang |
公開日期: | 五月-2002 | 卷: | 20 | 期: | 3 | 起(迄)頁: | 1008-1012 | 來源出版物: | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/299262 | DOI: | 10.1116/1.1479363 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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