https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/317658
標題: | Intelligent Dual-Speed Design for Face-Up Chemical Mechanical Polishing | 作者: | Y. Y. Chen Jia-Chuan Lin YUNG-YAW CHEN |
公開日期: | 七月-2005 | 起(迄)頁: | 1133-1138 | 來源出版物: | IEEE/ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/317658 | DOI: | 10.1109/aim.2005.1511162 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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