https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/321878
標題: | Rapid thermal post-metallization annealing effect on thin gate oxides | 作者: | Jeng, M.-J. Lin, H.-S. Hwu, J-G. JENN-GWO HWU |
公開日期: | 1996 | 卷: | 92 | 起(迄)頁: | 208-211 | 來源出版物: | Applied Surface Science | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0030562194&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/321878 |
DOI: | 10.1016/0169-4332(95)00231-6 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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