https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/325534
標題: | Feedback control of piezo-based nanopositioning systems for semiconductor manufacturing | 作者: | Chun-Hung Liu Yea-Chin Yeh Kuen-Yu Tsai Jia-Yush Yen Arthur Tay Jyh-Fa Lee KUEN-YU TSAI |
公開日期: | 十二月-2006 | 來源出版物: | IFAC Workshop on Advanced Process Control for Semiconductor Manufacturing | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/325534 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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