https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/338878
標題: | Mathematical modeling of soft baking in photoresist processing | 作者: | Lin, S.-H. Liu, B.-T. Chen, W.-C. WEN-CHANG CHEN Hsu J.-P. |
公開日期: | 1998 | 卷: | 145 | 期: | 12 | 起(迄)頁: | 4256-4259 | 來源出版物: | Journal of the Electrochemical Society | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0032288057&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/338878 |
DOI: | 10.1149/1.1838947 |
顯示於: | 化學工程學系 |
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