https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/347478
標題: | Grey forecasting run-to-run control system in copper chemical mechanical polishing | 作者: | Wang, G. J. Yang, F. C. Wang, M. T. Huang, M. L. Chen, J. Loh, K. N. FENG-CHENG YANG |
公開日期: | 2009 | 卷: | 41 | 期: | 1-2 | 起(迄)頁: | 48-56 | 來源出版物: | International Journal of Advanced Manufacturing Technology | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-60949089197&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/347478 |
DOI: | 10.1007/s00170-008-1452-2 |
顯示於: | 工業工程學研究所 |
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