https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/350499
標題: | Modeling and optimization of wafer-level spatial uniformity with the use of rational subgrouping | 作者: | CHEE-WEE LIU Guo, Ruey-Shan Chen, Argon Liu, Cheewee Lin, A. Lan, M. CHEE-WEE LIU |
公開日期: | 1999 | 起(迄)頁: | 429-432 | 來源出版物: | IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing Conference | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0033328942&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/350499 |
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