https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/366471
標題: | Lithography-patterning-fidelity-aware electron-optical system design optimization | 作者: | Sheng-Yung Chen Hoi-Tou Ng Shiau-Yi Ma Hsing-Hong Chen Chun-Hung Liu Kuen-Yu Tsai KUEN-YU TSAI |
公開日期: | 十二月-2011 | 卷: | 29 | 期: | 6 | 起(迄)頁: | 06FD04 | 來源出版物: | Journal of Vacuum Science and Technology B | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/366471 | DOI: | 10.1116/1.3662402 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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