https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/497251
標題: | Stitching periodic submicron fringes by utilizing step-and-align interference lithography | 作者: | Chen, Y.-P. Chen, C.-H. Chang, J.-H. Chiu, H.-C. Chen, G.-Y. Chiang, C.-H. Chen, L.-S. Tseng, C.-T. Lee, C.-H. Yen, J.-Y. LON A. WANG JIA-YUSH YEN |
公開日期: | 2009 | 卷: | 27 | 期: | 6 | 起(迄)頁: | 2951-2957 | 來源出版物: | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/497251 | DOI: | 10.1116/1.3258152 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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