https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/501954
標題: | Overlay-Aware Detailed Routing for Self-Aligned Double Patterning Lithography Using the Cut Process | 作者: | Liu, Iou-Jen Fang, Shao-Yun Chang, Yao-Wen YAO-WEN CHANG |
公開日期: | 2016 | 卷: | 35 | 期: | 9 | 起(迄)頁: | 1519-1531 | 來源出版物: | Ieee Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/501954 | ISSN: | 0278-0070 | DOI: | 10.1109/TCAD.2015.2513670 |
顯示於: | 電信工程學研究所 |
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