https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/396629
標題: | Low contact resistivity (1.5×10-8 Ω-cm2) of phosphorus-doped Ge by in-situ chemical vapor deposition doping and laser annealing | 作者: | Huang, S.-H. Lu, F.-L. CHEE-WEE LIU |
公開日期: | 2016 | 來源出版物: | 2016 International Symposium on VLSI Technology, Systems and Application, VLSI-TSA 2016 | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-84978682964&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/396629 |
DOI: | 10.1109/VLSI-TSA.2016.7480526 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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