https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/559077
標題: | Precision fabrication of EUVL programmed defects with helium ion beam lithography | 作者: | Lee, C.-L. Cai, J.-S. Chien, S.-W. KUEN-YU TSAI |
公開日期: | 2019 | 卷: | 11147 | 來源出版物: | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering | URI: | https://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85077325806&partnerID=40&md5=cdb3a43ca9d2a5be738d3589c85cc2b2 https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/559077 |
DOI: | 10.1117/12.2536874 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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