https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/359322
標題: | Iterative finite-difference method for analyzing fabrication errors of lens-misaligned electron-beam direct-write lithography system | 作者: | Yen-Min Lee Jia-Han Li Sheng-Yung Chen Shiau-Yi Ma Kuen-Yu Tsai Tony W. H. Sheu Jia-Yush Yen KUEN-YU TSAI |
公開日期: | 十一月-2010 | 起(迄)頁: | 12D-11-8 | 來源出版物: | International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2010 | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/359322 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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